基板载具

摘要

一种基板载具，适合承载至少一呈竖立摆放的基板，并包含一移动载台及至少一夹制单元。该移动载台包括一竖立设置且供该基板抵靠的承靠板，及至少一载台开口。该夹制单元能卸除地结合于该承靠板，并包括一框架，及至少二弹片，该框架具有一尺寸大于该基板尺寸并正对该载台开口的框架开口，每一弹片具有一设置于该框架的固定端，及一由该固定端往承靠板延伸且穿入该框架开口并能压抵该基板的抵压端。藉由让该基板在进行高温制程时能够均匀受热，而且当该基板受热变形时，该等弹片也能够承受该基板变形量，以能减少该基板损坏之可能性。