孔洞表面形貌量测系统及方法

摘要

一种孔洞表面形貌量测系统，用于量测一试件之一孔洞的表面形貌，并包含一光发射模组、一光学透镜模组、一影像撷取模组、一影像处理模组，及一运算处理模组。藉由该光学透镜模组能深入于该孔洞中，并改变该光发射模组所发出之入射光束方向成为可探测该孔洞表面的探测光，并进一步产生相互干涉的第一、第二参考光。然后再透过该影像撷取模组撷取干涉影像，并传送到该影像处理模组进行进一步的影像处理以得到较清晰之影像后，最后利用该运算处理模组来计算干涉条纹序数，而能得到孔洞表面的形貌。