| 摘要 |
使清净滚轮接触工作台上之工件之表面时，防止因为清净滚轮接触工件而发生的在工作台上之工件的偏离或剥离。;形成于绘图工作台13表面之多数抽引口，通过抽引管V，由分别所对应之抽引泵P进行抽引。利用压力检测器S检测该抽引管V内之真空度。绘图工作台驱动马达18，系可使绘图工作台13往复移动于从待机位置至超过由绘图光学系之绘图位置的位置。清净单元上下移动驱动用气缸43，使清净滚轮49于机械手5及绘图光学系之间，相对于绘图工作台13进行上下移动。控制部6，只有在由压力检测器S检测到之真空度超过特定值时，相对于清净单元上下移动驱动用气缸43，使该清净滚轮49下降并接触于绘图工作台13，并在该状态下，来让该绘图工作台移动。 |
