具有整合式微机械接点及冷却系统之电子装置

摘要

一种电子装置可包含一可形成一微机械系统于其上的半导体晶粒。该微机械系统可包含多个导电长形接点结构，在该半导体晶粒的输入及/或输出端子上可配置该等接点结构。该微机械系统也可包含一配置于该半导体晶粒上的冷却结构。