| 摘要 |
本发明之课题为：提供基板检查用之检查治具，将检查用探针之前端导引至检查基板之既定部分，并防止弯曲等变形，而且从前端自动去除污物等。;为解决上述课题，基板检查用之检查治具系用以固持复数之检查用探针者，该探针具有：前端部，接触于检查基板之配线图案的既定部分，用以对检查基板之配线图案作检查；及后端部，连接于测定装置；且基板检查用之检查治具包含：底板，用以固持复数之检查用探针的后端部；及头部，具有插入穿通有复数检查用探针之前端部的开孔，用以将前端部导引至配线图案的既定部分；且头部之部分或全部可沿头部之开孔的轴线方向移动。 |
