成膜装置，阻障膜制造方法

摘要

本发明之课题在于形成低电阻且覆盖范围优越的阻障膜。;其解决手段系在交互流出金属材料气体与反应性气体时，事先流出逆流防止气体与辅助气体，反应性气体与辅助气体会随和着逆流防止气体之流动，使之接触触媒材料，产生自由基。金属材料气体并不使之接触触媒材料，触媒材料不会劣化。亦可在自由基生成室35与反应室36之间配置淋浴板12，通过贯穿孔14对反应室36供给自由基。