发明名称 电浆处理系统
摘要
申请公布号 TWI428974 申请公布日期 2014.03.01
申请号 TW096110623 申请日期 2007.03.27
申请人 吉恩股份有限公司 南韩 发明人 崔大圭
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 南韩