发明名称 矽晶圆及其制造方法
摘要
申请公布号 TWI428483 申请公布日期 2014.03.01
申请号 TW099143974 申请日期 2010.12.15
申请人 世创电子材料公司 德国 发明人 中居克彦
分类号 C30B33/02 主分类号 C30B33/02
代理机构 代理人 陈翠华 台北市松山区南京东路3段261号6楼
主权项
地址 德国