| 摘要 |
<p>La présente invention concerne un procédé de mesure de la contamination en particules d'une enceinte de transport pour le convoyage et le stockage atmosphérique de substrats semi-conducteurs, mis enœuvre dans une station de mesure. Le procédé de mesure comporte : - une étape dans laquelle le module de mesure (5) s'accouple à l'enveloppe rigide (2) en définissant un premier volume de mesure (V1) entre l'interface de mesure enveloppe (16) et l'enveloppe rigide (2) accouplée pour réaliser une mesure de contamination des parois internes de l'enveloppe rigide (2), et - une étape dans laquelle la porte (3) s'accouple au module de mesure (5) en définissant un deuxième volume de mesure (V2) entre ladite face de mesure (22) et la porte (3) en vis-à-vis pour réaliser une mesure de contamination de la porte (3). L'invention concerne également une station de mesure associée.</p> |
