发明名称 粘性剂厚度调节装置、安装装置以及基板装置的制造方法
摘要 本发明提供粘性剂厚度调节装置、安装装置以及基板装置的制造方法。抑制旋转部上的粘性剂的厚度由于粘性剂中的异物而变得不均等,并且减少流到旋转部的内周侧或外周侧的粘性剂量。具备:旋转部,在该旋转部载置粘性剂;引导部,其被设置成相对于该旋转部的旋转方向倾斜,所述引导部使该粘性剂的厚度恒定,对该粘性剂中的异物向该旋转部的内周侧或外周侧进行引导;限制部,其与该引导部的该旋转方向的下游端部连接,限制该粘性剂由于该引导部的倾斜而流向该内周侧或外周侧;以及开口部,其被设置于该引导部与该限制部的连接部,用于使该异物通过。
申请公布号 CN104124186A 申请公布日期 2014.10.29
申请号 CN201410080560.2 申请日期 2014.03.06
申请人 富士施乐株式会社 发明人 泽田宽;大洼久文
分类号 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/58(2006.01)I 主分类号 H01L21/67(2006.01)I
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人 李辉;蔡丽娜
主权项 一种粘性剂厚度调节装置,其具备:旋转部,在该旋转部载置粘性剂;引导部,其被设置成相对于该旋转部的旋转方向倾斜,该引导部使该粘性剂的厚度恒定,将该粘性剂中的异物引导向该旋转部的内周侧或外周侧;限制部,其与该引导部的该旋转方向的下游端部连接,限制该粘性剂由于该引导部的倾斜而流向该内周侧或外周侧;以及开口部,其被设置于该引导部与该限制部的连接部,用于使该异物通过。
地址 日本东京都
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