发明名称 |
粘性剂厚度调节装置、安装装置以及基板装置的制造方法 |
摘要 |
本发明提供粘性剂厚度调节装置、安装装置以及基板装置的制造方法。抑制旋转部上的粘性剂的厚度由于粘性剂中的异物而变得不均等,并且减少流到旋转部的内周侧或外周侧的粘性剂量。具备:旋转部,在该旋转部载置粘性剂;引导部,其被设置成相对于该旋转部的旋转方向倾斜,所述引导部使该粘性剂的厚度恒定,对该粘性剂中的异物向该旋转部的内周侧或外周侧进行引导;限制部,其与该引导部的该旋转方向的下游端部连接,限制该粘性剂由于该引导部的倾斜而流向该内周侧或外周侧;以及开口部,其被设置于该引导部与该限制部的连接部,用于使该异物通过。 |
申请公布号 |
CN104124186A |
申请公布日期 |
2014.10.29 |
申请号 |
CN201410080560.2 |
申请日期 |
2014.03.06 |
申请人 |
富士施乐株式会社 |
发明人 |
泽田宽;大洼久文 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I;H01L21/58(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 11127 |
代理人 |
李辉;蔡丽娜 |
主权项 |
一种粘性剂厚度调节装置,其具备:旋转部,在该旋转部载置粘性剂;引导部,其被设置成相对于该旋转部的旋转方向倾斜,该引导部使该粘性剂的厚度恒定,将该粘性剂中的异物引导向该旋转部的内周侧或外周侧;限制部,其与该引导部的该旋转方向的下游端部连接,限制该粘性剂由于该引导部的倾斜而流向该内周侧或外周侧;以及开口部,其被设置于该引导部与该限制部的连接部,用于使该异物通过。 |
地址 |
日本东京都 |