发明名称 Drehratensensor mit drei sensitiven Achsen und Verfahren zur Herstellung eines Drehratensensors
摘要 Drehratensensor zur Detektion einer Rotationsbewegung des Drehratensensors, wobei der Drehratensensor eine erste Sensorstruktur mit einer ersten Schwingmasse, eine zweite Sensorstruktur mit einer zweiten Schwingmasse und eine mit der ersten Schwingmasse und der zweiten Schwingmasse gekoppelte Antriebsstruktur aufweist, wobei die erste Sensorstruktur zur Detektion einer ersten Drehrate um eine erste Drehachse und die zweite Sensorstruktur zur Detektion einer zweiten Drehrate um eine zweite Drehachse konfiguriert ist, wobei die erste Schwingmasse zu einer ersten Antriebsschwingung entlang einer ersten Schwingungsrichtung antreibbar ist, wobei die zweite Schwingmasse zu einer zweiten Antriebsschwingung entlang einer von der ersten Schwingungsrichtung verschiedenen zweiten Schwingungsrichtung antreibbar ist, wobei die erste Drehachse senkrecht zur ersten Schwingungsrichtung angeordnet ist und die zweite Drehachse senkrecht zur zweiten Schwingungsrichtung angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Sensorstruktur zur Detektion einer dritten Drehrate um eine von der zweiten Drehachse verschiedenen und zur zweiten Schwingungsrichtung senkrechten dritten Drehachse konfiguriert ist.
申请公布号 DE102013212112(A1) 申请公布日期 2015.01.08
申请号 DE201310212112 申请日期 2013.06.25
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 CLASSEN, JOHANNES;SPECHT, HENDRIK;BALSLINK, THORSTEN
分类号 G01C19/5733;B81B7/02 主分类号 G01C19/5733
代理机构 代理人
主权项
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