摘要 |
Drehratensensor zur Detektion einer Rotationsbewegung des Drehratensensors, wobei der Drehratensensor eine erste Sensorstruktur mit einer ersten Schwingmasse, eine zweite Sensorstruktur mit einer zweiten Schwingmasse und eine mit der ersten Schwingmasse und der zweiten Schwingmasse gekoppelte Antriebsstruktur aufweist, wobei die erste Sensorstruktur zur Detektion einer ersten Drehrate um eine erste Drehachse und die zweite Sensorstruktur zur Detektion einer zweiten Drehrate um eine zweite Drehachse konfiguriert ist, wobei die erste Schwingmasse zu einer ersten Antriebsschwingung entlang einer ersten Schwingungsrichtung antreibbar ist, wobei die zweite Schwingmasse zu einer zweiten Antriebsschwingung entlang einer von der ersten Schwingungsrichtung verschiedenen zweiten Schwingungsrichtung antreibbar ist, wobei die erste Drehachse senkrecht zur ersten Schwingungsrichtung angeordnet ist und die zweite Drehachse senkrecht zur zweiten Schwingungsrichtung angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Sensorstruktur zur Detektion einer dritten Drehrate um eine von der zweiten Drehachse verschiedenen und zur zweiten Schwingungsrichtung senkrechten dritten Drehachse konfiguriert ist. |