Mikromechanisches Bauteil, Mikrospiegelvorrichtung und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil

摘要

Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil mit einer Halterung (10), und einer in Bezug zu der Halterung (10) um mindestens eine Rotationsachse (12) verstellbaren Spiegelplatte (14) mit einer Spiegelseite (16) und einer von der Spiegelseite (16) weg gerichteten Rückseite (18), wobei die Spiegelplatte (14) mit der Halterung (10) zumindest über vier Federn (20) verbunden ist, wobei jede der vier Federn (20) teilweise an der Rückseite (18) der Spiegelplatte (14) entlang verläuft und über je einen Stützpfosten (22), welcher jeweils einen auf der Rückseite (18) liegenden Verankerungsbereich (24) kontaktiert, mit der Spiegelplatte (14) verbunden ist. Ebenso betrifft die Erfindung eine Mikrospiegelvorrichtung. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil.