发明名称 |
SURFACE AND SUBSURFACE DETECTION SENSOR |
摘要 |
<p>A sensor can include a plurality of imaging components configured to perform (1) subsurface imaging by acoustical excitation and optical detection, and (2) interferometric surface topographic measurement.</p> |
申请公布号 |
WO2015013439(A1) |
申请公布日期 |
2015.01.29 |
申请号 |
WO2014US47872 |
申请日期 |
2014.07.23 |
申请人 |
LER TECHNOLOGIES;YACOUBIAN, ARAZ |
发明人 |
YACOUBIAN, ARAZ |
分类号 |
G01B9/02;G01B9/023;G01B11/00;G01N21/84 |
主分类号 |
G01B9/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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