一种极紫外光刻波纹板照明系统

摘要

本发明提供一种极紫外光刻波纹板照明系统，包括光源、收集镜、波纹板和中继镜组；光源发出的EUV光经收集镜收集后形成平行光束或小角度会聚的近似平行光束依次经过波纹板、中继镜组后照射到掩模上；波纹板为垂直于轴线方向上依次排列的柱面反射镜阵列，用于将入射宽光束分割为多个通道，每个通道分别对光源成子午像和弧矢像；中继镜组由修正型复合抛物面聚光镜(CPC)与二次曲面反射镜组组成，用于将波纹板所成的子午像叠加到掩模面上，将波纹板所成的弧矢像成像在照明系统的出瞳上。本发明通过减少系统中反射镜的数量，提高系统光能利用率。

主权项

一种极紫外光刻波纹板照明系统，其特征在于，包括光源、收集镜、波纹板和中继镜组；光源发出的EUV光经收集镜收集后形成平行光束或小角度会聚的近似平行光束依次经过波纹板、中继镜组后照射到掩模上；其中，波纹板为垂直于轴线方向上依次排列的柱面反射镜阵列，用于将入射宽光束分割为多个通道，每个通道分别对光源成子午像和弧矢像；中继镜组由修正型复合抛物面聚光镜CPC与二次曲面反射镜组组成，用于将波纹板所成的子午像叠加到掩模面上，将波纹板所成的弧矢像成像在照明系统的出瞳上。