具有微结构锆钛酸铅PZT厚膜的制备方法

摘要

本发明提供一种具有微结构锆钛酸铅PZT厚膜的制备方法，其特征在于，所述方法包括：在基片的表面制备图形化的氧化锌牺牲层；将PZT浆料涂覆在所述氧化锌牺牲层上，在200℃～500℃条件下，进行1～60分钟的预结晶处理；再在600℃～1000℃条件下，进行1～180分钟的结晶处理；将表面覆有所述PZT浆料的所述基片置入腐蚀液中，剥离后得到具有微结构的PZT厚膜。本制备方法通过采用改良浆料和热处理的工艺，能明显提高PZT厚膜的表面平整度和致密度。同时，通过氧化锌作为牺牲层的剥离技术，能克服PZT厚膜难以干净刻蚀的问题。

主权项

一种具有微结构锆钛酸铅PZT厚膜的制备方法，其特征在于，所述方法包括：在基片的表面制备图形化的氧化锌牺牲层；将PZT浆料涂覆在所述氧化锌牺牲层上，在200℃～500℃条件下，进行1～60分钟的预结晶处理；再在600℃～1000℃条件下，进行1～180分钟的结晶处理；将表面覆有所述PZT浆料的所述基片置入腐蚀液中，剥离后得到具有微结构的PZT厚膜。