发明名称 具有质量偏置装置的集成压电谐振器
摘要 一种集成谐振器设备(100),包括压电谐振器(120、124、128)和邻近压电谐振器形成的声学布拉格反射器(149)。集成谐振器设备还包括形成在布拉格反射器(149)上方的质量偏置装置(170)。
申请公布号 CN104321892A 申请公布日期 2015.01.28
申请号 CN201380025921.7 申请日期 2013.05.31
申请人 德克萨斯仪器股份有限公司 发明人 B·N·伯吉斯;W·R·克莱尼克;S·M·雅各布森
分类号 H01L41/08(2006.01)I;H03H9/13(2006.01)I 主分类号 H01L41/08(2006.01)I
代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 代理人 赵蓉民
主权项 一种集成谐振器设备,其包括:压电谐振器;声学布拉格反射器,其邻近所述压电谐振器形成;和质量偏置装置,其形成在与所述压电谐振器相对的所述压电谐振器的一侧上的布拉格反射器上方。
地址 美国德克萨斯州