f-theta光学镜头

摘要

本发明提出了一种f-theta光学镜头，包括沿光线入射方向设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜及第五透镜，其中，所述第一透镜为凹凸型正透镜，所述第二透镜为双凹型负透镜，所述第三透镜为凹凸型正透镜，所述第四透镜为凹凸型正透镜，所述第五透镜为平凸型正透镜。本发明f-theta光学镜头实现了355nm波长的紫外激光束在X/Y方向0～11°的半视场入射角度范围内角度变化与基片上0～50mm范围内光刻位置的准确线性映射关系，使激光束焦点的定位更精确，能量分布更均匀和集中，满足了光刻工艺的精度要求，且结构紧凑、成本较低。

主权项

一种f‑theta光学镜头，其特征在于，包括沿光线入射方向设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜及第五透镜，其中，所述第一透镜为凹凸型正透镜，所述第二透镜为双凹型负透镜，所述第三透镜为凹凸型正透镜，所述第四透镜为凹凸型正透镜，所述第五透镜为平凸型正透镜，该镜头的焦距为257mm，入瞳直径为15mm，入射光波长为355nm，视场角为11°，加工面积为100×100mm。