摘要 |
<p>ゲート電極(7)とエミッタ電極(9)を持つ絶縁ゲート型バイポーラトランジスタがトランジスタ領域に設けられている。トランジスタ領域の周囲に終端領域が配置されている。トランジスタ領域において、N型ドリフト層(1)の下に第1のN型バッファ層(18)が設けられている。第1のN型バッファ層(18)の下にP型コレクタ層(19)が設けられている。終端領域において、N型ドリフト層(1)の下に第2のN型バッファ層(20)が設けられている。P型コレクタ層(19)と第2のN型バッファ層(20)にコレクタ電極(21)が直接に接続されている。第2のN型バッファ層(20)の不純物濃度はコレクタ電極(21)に近づくほど小さくなる。第2のN型バッファ層(20)は、コレクタ電極(21)とはオーミックコンタクトを構成していない。</p> |