| 发明名称 |
具有与机械及电气功能分离的光学功能的微机电装置 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI474963 |
申请公布日期 |
2015.03.01 |
| 申请号 |
TW100121729 |
申请日期 |
2008.07.01 |
| 申请人 |
高通微机电系统科技公司 |
发明人 |
裘伊 克莱恩司;卡密司 威廉;盖利 布莱恩Ｊ;寇古特 莱欧;汤民豪;童 叶俊;姜志伟;安迪许 丹尼斯 |
| 分类号 |
B81B3/00;B81B5/00;B81C1/00;G02B26/00 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼 |
| 主权项 |
一种机电装置，其包含：一基板；一致动电极；一介于该基板与该致动电极间之可移动元件，该可移动元件包含一可变形层及一反射元件，该可变形层及该反射元件之每一者系介于该基板与该致动电极间，该可变形层沿一大致上垂直于该反射元件之方向与该反射元件相间隔开。 |
| 地址 |
美国 |
