| 摘要 |
<p>小型化が容易であり、低電圧で駆動することができるオゾン発生装置を実現する。そのため、オゾン発生装置（１）は、基板（２）と２つの駆動電極（３Ａ，３Ｂ）とを備える。基板（２）は、第１主面と第２主面とを有し、第１主面と第２主面との間を貫通する３つの放電孔（２Ａ，２Ｂ，２Ｃ）が形成されている。２つの駆動電極（３Ａ，３Ｂ）は、３つの放電孔（２Ａ，２Ｂ，２Ｃ）に対向するとともに、互いに対向している。３つの放電孔（２Ａ，２Ｂ，２Ｃ）は、部分的に径が小さい狭隘部（２Ａ１，２Ｂ１，２Ｃ１）を備えている。</p> |
