| 发明名称 |
CLEAN-ROOM MONITORING DEVICE AND METHOD FOR MONITORING CLEAN ROOM |
| 摘要 |
바닥부에 제거 가능한 그레이팅이 배치된 클린 룸의 내부를 감시하기 위한 클린 룸의 감시 장치이며, 상기 그레이팅을 촬상하는 감시 카메라와, 상기 감시 카메라에서 얻어진 화상 신호로부터 상기 그레이팅이 제거된 개구부의 유무를 검출하여, 개구부가 있는 경우에는 당해 개구부에 접근하는 작업원의 유무를 검출하고, 상기 작업원이 검출되었을 때에 경보 신호를 출력하는 감시부와, 상기 감시부로부터 상기 경보 신호를 받아, 경보를 발하는 경보 발생 수단을 구비하고 있다. |
| 申请公布号 |
KR20150034711(A) |
申请公布日期 |
2015.04.03 |
| 申请号 |
KR20157000193 |
申请日期 |
2013.07.02 |
| 申请人 |
도쿄엘렉트론가부시키가이샤 |
发明人 |
스즈키, 아츠시;우오야마, 가즈야;고니시, 요시타카;오쿠, 다이스케;혼다, 요시타다 |
| 分类号 |
G08B7/06;G08B21/04;G08B21/18 |
主分类号 |
G08B7/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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