| 摘要 |
【課題】高精度、高感度に化学物質の検出を行うことが可能なケミカルセンサ、ケミカルセンサモジュール、化学物質検出装置及び化学物質検出方法を提供すること【解決手段】本技術の一形態に係るケミカルセンサは、基板と、低屈折率層と、高屈折率層と、光検出部とを具備する。低屈折率層は、基板に積層され、検出対象物の屈折率である第１の屈折率より小さい第２の屈折率を有する。高屈折率層は、低屈折率層に積層され、第１の屈折率より大きい第３の屈折率を有し、検出対象物が保持される保持面を備え、照明光が伝播する。光検出部は、基板に設けられ、照明光によって検出対象物において生じる検出対象光を検出する。【選択図】図１ |
