力学量測定装置

摘要

力学量測定装置（半導体ひずみセンサ）は、半導体基板の表面に複数のピエゾ抵抗素子を形成した半導体チップと、前記半導体チップの複数の電極と電気的に接続される引き出し配線部と、前記半導体チップの裏面と接合される板材と、を有している。また、前記板材は、前記半導体チップの前記裏面と対向する第１領域と、前記第１領域の両隣または周囲に配置される第２領域とを備え、前記第１領域の前記板材の厚さを前記第２領域の厚さよりも大きくするものである。