| 摘要 |
被加工材から微細加工物を製造する超精密複合加工装置（１００）に用いる加工用データを作成する方法であって、超精密複合加工装置が、被加工材を粗削りするための電磁波加工手段（１０）、粗削りされた被加工材に対して精密加工を施すための精密機械加工手段（３０）、ならびに、電磁波加工手段（１０）および精密機械加工手段（３０）の使用に際して被加工材の形状を測定するための形状測定手段（５０）を有して成り、加工用データの作成に際しては、被加工材の形状に相当する元形状の情報、電磁波加工手段によって被加工材から除去される形状に相当する粗削り形状の情報；および、元形状に対して粗削り形状を設けた場合を想定した電磁波加工後の立体形状モデルを用いており、電磁波加工後の立体形状モデルに対してスライスするように部分的に切り取ることで得られる複数のスライス切取り部の情報に基づいて、電磁波加工用データの作成を行うことを特徴する、加工用データの作成方法。 |
