用于光子积体电路之反４５度镜

主权项

一种光子积体电路(PIC)，包括：薄膜介电层，配置在基底上；{100}结晶的装置层，配置在薄膜介电层上；光波导，形成在该装置层中，其中，该装置层的{110}晶体平面形成光学耦合该光波导的端面，且其中，该{110}晶体平面从该装置层的顶表面内凹；及配置在该装置层上及接近该端面之该光波导上的抗反射涂(ARC)层。