| 摘要 |
<p>본 발명은, 높은 피막 강도와 비교적 낮은 비유전률을 갖고, 또한 표면 평탄성이나 내크랙성 등이 우수한 실리카계 피막을 형성하기 위한 도포액, 그 조제방법 및 상기 도포액으로부터 얻어지는 실리카계 피막에 관한 것이다. 특정의 유기 규소 화합물과, 염기성 촉매성분을 함유하는 실리카계 미립자를 포함한 분산액을 가열하고, 적어도 상기 실리카계 미립자로부터 방출되는 상기 염기성 촉매성분에 의해서 상기 유기 규소 화합물을 부분 가수분해 및/또는 가수분해하여 얻어지는 규소 화합물을 포함한 실리카계 피막 형성용 도포액.</p> |
