| 主权项 |
一种可拆卸晶圆固定装置，其系可拆卸地安装于一晶圆制程机台，该可拆卸晶圆固定装置包含：一第一底盘，其具有一第一穿孔及复数周边穿孔，该些周边穿孔围绕该第一穿孔，该第一底盘用以接触一晶圆，且该第一穿孔及该些周边穿孔对应贴靠该晶圆；一第二底盘，其连接该第一底盘，该第二底盘具有一第二穿孔，该第二穿孔对应连通该第一穿孔及该些周边穿孔；一第三底盘，其连接该第二底盘，该第三底盘具有一第三穿孔，该第三穿孔对应连通该第二穿孔、该第一穿孔及该些周边穿孔；以及一真空开关阀，其对应该第一穿孔、该第二穿孔及该第三穿孔设于该第三底盘上，该真空开关阀内部形成一空间与该第一穿孔、该第二穿孔、该第三穿孔及该些周边穿孔连通，该真空开关阀控制切换该空间为一真空状态或一大气状态，令该第一底盘控制吸放该晶圆。 |
