| 摘要 |
<p>크라이오펌프의 냉각시간을 단축한다. 크라이오펌프(10)는, 고온 크라이오패널(19)과, 저온 크라이오패널(18)과, 냉각시스템(15)을 구비한다. 냉각시스템(15)은, 고온 크라이오패널(19)을 냉각하기 위한 제1 스테이지(20)와, 저온 크라이오패널(18)을 냉각하기 위한 제2 스테이지(21)를 구비하는 냉동기(16)와, 크라이오펌프(10)의 진공배기운전을 개시하기 위하여 제1 스테이지(20) 및 제2 스테이지(21)를 냉각하는 쿨다운운전을 제어하기 위한 제어부(100)를 구비한다. 냉각시스템(15)은, 쿨다운운전에 있어서 적어도 일시적으로, 제1 스테이지(20)에 선택적으로 냉각완화작용을 부여하도록 구성되어 있다.</p> |
