リソグラフィ装置および方法

摘要

投影システム（ＰＳＷ）内、および基板テーブル（ＷＴ）に隣接して設けられるスペクトル純度フィルタを備えたリソグラフィ装置が開示される。スペクトル純度フィルタは、ポリシリコン、多層膜材料、カーボンナノチューブ材料、またはグラフェンから形成された膜（１４）であることが好ましい。膜には、保護キャッピング層および／または薄い金属の透明な層が設けられてもよい。【選択図】 図６