| 摘要 |
<p>본 발명의 실시 예에 따른 대상의 파면을 측정하는 측정기의 동작 방법은 대상의 파면을 기반으로 측정 파면을 측정하는 단계; 측정 파면을 기반으로 기준 방향 및 제 1 내지 제 3 방향들 각각에 대응하는 기준 기울기 정보 및 제 1 내지 제 3 기울기 정보를 측정하는 단계; 측정된 기준 기울기 정보 및 제 1 내지 제 3 기울기 정보를 기반으로 제 1 내지 제 3 회전각들을 획득하는 단계; 및 획득된 제 1 내지 제 3 회전각들을 기반으로 회전 오차에 의해 발생한 오류가 보정된 파면을 출력하는 단계를 포함하고, 제 1 내지 제 3 회전각들은 각각 기준 방향 및 제 1 방향의 각도 차이, 각각 기준 방향 및 제 2 방향의 각도 차이, 및 각각 기준 방향 및 제 3 방향의 각도 차이이다.</p> |
