| 摘要 |
<p>복수의 방향으로 배치한 복수의 검출기로부터의 신호를 기판의 높이 변동의 영향을 받지 않고 처리하여 기판 상의 보다 미세한 결함을 검출할 수 있도록 하기 위하여, 결함 검사 장치에, 제1 집광 검출 수단과 제2 집광 검출 수단에 각각 복수열의 광 센서 어레이를 갖는 광전 변환기를 구비하며, 처리 수단은 제1 및 제2 집광 검출 수단의 각각의 복수열의 광 센서 어레이로부터의 검출 신호를 사용하여 시료의 표면에 대한 제1 및 제2 집광 검출 수단의 초점 위치의 어긋남을 구하고, 이 구한 제1 및 제2 집광 검출 수단의 각각의 초점 위치의 어긋남에 따라 제1 집광 검출 수단으로부터 출력된 검출 신호와 제2 집광 검출 수단으로부터 출력된 검출 신호를 보정하고, 이 보정한 제1 집광 검출 수단으로부터 출력된 검출 신호와 제2 집광 검출 수단으로부터 출력된 검출 신호를 통합하여 시료 상의 결함을 검출하도록 하였다.</p> |
