气体阻隔性膜

摘要

本发明的目的是提供一种高气体阻隔性、并且气体阻隔性的反复再现性优异的气体阻隔性膜。本发明的气体阻隔性膜，其特征在于，是在高分子膜基材的至少一面依次配置有3个无机化合物层即［A］层、［B］层、［C］层的气体阻隔性膜，所述［B］层的厚度为0.2～20nm，且密度比［A］层和［C］层的任何一个的密度都高。

主权项

一种气体阻隔性膜，是在高分子膜基材的至少一面具有气体阻隔层的气体阻隔性膜，所述气体阻隔层具有层结构，所述层结构是从高分子膜基材侧起[A]层、[B]层、[C]层接触地配置而成的，所述[A]层以及所述[C]层的层密度在2.0～9.0g/cm³的范围，所述[B]层是密度为2.3～10.5g/cm³、且比所述[A]层和所述[C]层的任何一个的密度都高，并且厚度为0.2～20nm的层，所述[A]层为以锌(Zn)化合物为主成分的、以下的[A1]层或者[A2]层，[A1]层：包含氧化锌‑二氧化硅‑氧化铝共存相的层；[A2]层：包含硫化锌与二氧化硅的共存相的层。