光学反射元件

摘要

本发明提供一种光学反射元件，其具备固定框、一对第一振动部、可动框、一对第二振动部、反射镜部。第一振动部的一端与固定框的内侧连接。可动框与一对第一振动部的另一端连接，以能够进行转动的方式被支撑。一对第二振动部其一端与可动框的内侧连接，并且被配置成与一对第一振动部大致正交。反射镜部与一对第二振动部的另一端连接，以能够进行转动的方式被支撑。第二振动部形成由多个直线部和弯折部构成的蜿蜒形状，并且在弯折部的一部分设置了阶梯构造部。

主权项

一种光学反射元件，具备：固定框；一对第一振动部，一端与所述固定框的内侧连接；可动框，其与所述一对第一振动部的另一端连接，以能够进行转动的方式被支撑；一对第二振动部，一端与所述可动框的内侧连接，并且被配置成与所述一对第一振动部正交；和反射镜部，其与所述一对第二振动部的另一端连接，以能够进行转动的方式被支撑，所述第二振动部形成由多个直线部和弯折部构成的蜿蜒形状，并且在所述弯折部的一部分设置了使所述弯折部厚度比所述直线部还厚而形成的阶梯构造部。