合成石英玻璃基板的处理

摘要

通过以下方法处理一种具有抗蚀剂膜涂覆于其上的合成石英玻璃基板：将该基板浸入含萜烯的溶剂中直到抗蚀剂膜剥离，并用水冲洗该基板。

主权项

一种处理合成石英玻璃基板以除去通过涂覆抗蚀剂组合物和为了烘烤的加热处理，在该玻璃基板上形成的抗蚀剂膜的方法，包括以下步骤：将涂膜基板浸入溶解有萜烯的溶剂中直到该抗蚀剂膜从表面基本上剥离，并用水冲洗该基板。