激光加工机

摘要

提供一种结构简单并且具备能够准确地检测激光的发散和光轴偏移的手段的激光加工机。在半透半反镜的与反射激光的面相反的面侧配置接收透过了半透半反镜的激光的传感器。传感器隔着绝热材料配置于半透半反镜的背面与将透过了半透半反镜的激光遮断或吸收的遮蔽板之间，成为在热上独立于其它构件的构件。另外，传感器配置于以下的位置：不接收透过了半透半反镜的正常时的激光、而在激光发散的情况或激光的光轴发生偏移的情况下直接接收透过了半透半反镜的激光的位置。

主权项

一种激光加工机，具备：激光振荡器；光路，从上述激光振荡器输出的激光通过该光路；以及配置在上述光路内的至少一个反射镜，其中，激光在上述光路内传播，该激光加工机的特征在于，上述反射镜的至少一个是半透半反镜，在上述半透半反镜的与反射激光的面相反的面侧设置有接收透过了上述半透半反镜的激光的至少一个传感器，上述传感器配置于以下的位置：在正常时不接收激光、且在激光与正常时相比发散的情况或者激光的光轴与正常时相比发生偏移的情况下接收激光的位置。