干燥装置

摘要

本发明提供干燥装置，其能够与多个配置图案对应地自动进行支撑销的配置更换，并且在基板的产品形成区域不产生干燥不均。本发明的干燥装置具备：腔室(11)，其容纳基板；和支撑部(13)，其利用多个支撑销(15)来支撑基板，支撑部具有：多个轴(14)，其与旋转轴线平行地配设；和旋转销(17)，其沿着旋转轴线配设于各轴的外周部，旋转销在沿着轴的外周部的周向而在中心角θ为(n-1)×α的位置，具有沿法线方向延伸的支撑销(15)，其中，n是1～N的整数，N是配置图案的种类数，α是任意的角度，具有第M个配置图案的基板由通过使各旋转轴(14)旋转至旋转角度而选择出的多个支撑销(15)来支撑，其中，M是1～N的整数。

主权项

一种干燥装置，其使涂布在基板上的涂布膜干燥，其中，该干燥装置具备：腔室，其容纳所述基板；和支撑部，其利用多个支撑销来支撑被容纳在所述腔室内的所述基板，所述基板具有：多个产品形成区域；和划分各所述产品形成区域的非产品形成区域，所述支撑部具有：多个轴，它们与旋转轴线平行地配设，并且被支撑成能够以旋转轴线为中心进行旋转；和至少一个以上旋转销，它们沿着旋转轴线配设于各所述轴的外周部，所述旋转销在沿着所述轴的外周部的周向而相对于与所述基板的面垂直的方向的中心角θ为(n‑1)×α的位置上，具有沿所述轴的法线方向延伸的至少一个以上支撑销，其中，n是1～N的整数，N是所述产品形成区域的配置图案的种类数，α是任意的角度，具有第M个所述配置图案的所述基板是由通过使各所述轴相对于所述基板的垂直方向旋转至旋转角度为(M‑1)×α而选择出的、处于与所述基板垂直的方向的多个支撑销来支撑的，其中，M是1～N的整数。