激光微加工装置及其方法

摘要

本发明涉及激光微加工装置及方法，包括旋转台以及位于其上的容器，下超声振动台安装在容器底部，上超声振动台固定在下超声振动台上，工件置于上超声振动台上，上超声振动台上方布置有激光源和透镜，激光束穿过透镜到达工件的表面，上超声振动台上侧设有超声喇叭，超声喇叭发射超声波至工件的表面，外容器通过进液管和出液管与容器相连，进液管上喷嘴朝向工件的表面。激光辐照浸没在液体中工件表面时，超声喇叭辐照工件表面，或使工件在竖直方向和水平方向产生超声振动；激光与超声波同时理想的作用在工件第一表面，达到不同的加工效果，可强化超声空化、水射流等现象，实现对工件表面的再清洗，减小加工的热影响区、裂纹、碎屑的沉积等。

主权项

激光微加工装置，其特征在于：包括旋转台以及位于其上的容器，下超声振动台安装在容器底部，上超声振动台固定在下超声振动台上，工件置于上超声振动台上，放置工件的上超声振动台上方布置有激光源和透镜，激光源发出激光束，激光束穿过透镜到达工件的表面，放置工件的上超声振动台上侧设有超声喇叭，超声喇叭发射超声波至工件的表面，外容器通过进液管和出液管与容器相连，进液管端部设有喷嘴，喷嘴朝向工件的表面。