超常压化学气相沉积装置

摘要

本发明公开了一种超常压化学气相沉积装置，主要包括外壳、保压腔体、反应腔体外壳、反应腔体。本发明采用设置保压腔体和反应腔体的双腔体结构，可以通过压力调节和设置使反应腔体相对保压腔体处于负压状态，即使反应腔体相对于保压腔体成为真空腔体，这样可以保留现有气相沉积装置反应腔体的真空密封设计，主要对保压腔体和保压外壳进行压力容器设计，极大简化超常压化学气相沉积装置设计，另外压力外壳和保压腔体的设置也在一定程度给反应腔体增加了一道保护屏障，而且保压腔体中的气体可以使用相对反应气体更为安全的气体，提高了设备安全性能。

主权项

一种超常压化学气相沉积装置，主要包括：保压外壳（1）、保压腔体（2）、气体导入部件（3）、反应腔体（4）、反应腔体外壳（5）、载片盘（6）、衬底（7）、载片盘支撑（8）、加热部件（9）、加热部件支撑（10）、底座（11）、尾气出口（12）、外部接口（13），其特征在于所述保压腔体（2）位于保压外壳（1）和反应腔体外壳（5）之间，设置保压腔体（2）的工作压力高于反应腔体外壳（5）内反应腔体（4）的工作压力，以保证反应腔体（4）相对于保压腔体（2）为负压状态。