一种检测晶背缺陷的装置及方法

摘要

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种检测晶背缺陷的装置及方法。本发明提出一种检测晶背缺陷的装置及方法，通过设置支撑翻转装置代替原有的载物台，以对进行检测分析的晶圆进行支撑及翻转，从而实现了对晶圆的晶面及晶背的检测，由于翻转的过程使用机械翻转代替原来的手工翻转，从而能有效的避免人为失误操作，有效的提高了产品的良率和降低缺陷检测分析的成本。

主权项

一种检测晶背缺陷的装置，应用于晶圆的晶面和晶背的目测，包括扫描电子显微镜，其特征在于，还包括支撑翻转装置，所述支撑翻转装置包括上支撑片、下支撑片、机械轴和动力装置；所述上支撑片和下支撑片与所述机械轴固定连接形成卡槽，所述上支撑片与所述晶圆的晶面空白区域贴合，所述下支撑片与所述晶圆的晶背贴合，所述动力装置通过所述机械轴带动所述晶圆转动；所述晶圆固定在所述支撑翻转装置上，所述支撑翻转装置带动所述晶圆至所述扫描电子显微镜的下方，以将所述晶圆的晶面或晶背正对所述扫描电子显微镜；其中，所述晶圆的晶面空白区域与所述支撑翻转装置贴合，所述上支撑片与所述晶圆的晶面贴合处固定设置有材质为橡胶的薄膜。