表面波等离子体产生用天线及表面波等离子体处理装置

摘要

本发明涉及表面波等离子体产生用天线及表面波等离子体处理装置。该表面波等离子体产生用天线用于将从微波输出部通过由外侧导体与内侧导体构成的同轴状的波导传输来的微波放射到腔室内，在腔室内产生表面波等离子体，该表面波等离子体产生用天线呈平面状，并且多个缝隙形成为圆周状，并且，在圆周方向上邻接的缝隙与缝隙的相接部分处，这些缝隙在径向上重叠，其相接部分呈被缝隙包围的状态。

主权项

一种表面波等离子体产生用天线，其将从微波输出部通过由外侧导体与内侧导体构成的同轴状的波导传输来的微波放射到腔室内，在腔室内产生表面波等离子体，其特征在于，该表面波等离子体产生用天线呈平面状，并且沿着圆周方向的多个曲线状缝隙整体上被形成为圆周状，并且在圆周方向上邻接的所述曲线状缝隙构成为邻接的端部在径向上分离且邻接的所述端部在径向上重叠，从而在整个圆周方向上存在缝隙。