检查方法

摘要

本发明公开一种检查方法。为了检查板，首先在板上设定测量区域，并且获取测量区域的基准数据和测量数据。然后，通过块单元建立多个特征块，以便包含测量区域中的预定形状；通过合并特征块中的重叠的特征块来建立合并块。此后，通过将与除合并块以外的特征块和/或合并块对应的基准数据和测量数据进行比较来获得变形度；以及补偿变形度，以便在目标测量区域中设定检查区域。因此，可正确地设定补偿了变形的检查区域。

主权项

一种对板的检查方法，包括：在板上设定测量区域；获取所述测量区域的基准数据和测量数据；通过块单元建立多个特征块以便包含所述测量区域中的预定形状；通过合并所述特征块中的重叠的具有彼此类似的形状的特征块来建立合并块；通过将与除所述合并块以外的所述特征块和/或所述合并块对应的基准数据和测量数据进行比较来获得变形度；以及补偿所述变形度，以便在目标测量区域中设定检查区域。