| 发明名称 | 纳米结构材料叠层转移方法和装置 | ||
| 摘要 | 在一个方面中，提供了用于制造多层纳米结构材料复合物的方法，以及通过这样的方法制造的装置。在另一个方面中，提供了包括使用饰面含氟层来帮助纳米结构材料层的转移的方法，以及通过这样的方法制造的装置。 | ||
| 申请公布号 | CN104952698A | 申请公布日期 | 2015.09.30 |
| 申请号 | CN201410858340.8 | 申请日期 | 2014.12.26 |
| 申请人 | 伊利诺斯州立大学托管会;罗门哈斯电子材料有限公司;陶氏环球技术有限公司 | 发明人 | M·沈;N·吴;Y·翟;S·南;J·A·罗杰斯;B·H·金;S·Y·杨;P·特雷弗纳斯;K·德什潘德;J·周;J·J·张;朴钟根 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I;H01L21/78(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L33/06(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 王颖 |
| 主权项 | 一种制造纳米结构材料复合物的方法，包含：(a)在第一基底上提供多层复合物，所述多层复合物包含1)纳米结构材料层和2)不同于纳米结构材料层的一个或多个额外的层；(b)将多层复合物转移至第二基底。 | ||
| 地址 | 美国伊利诺斯州 | ||