一种微流道压力传感器

摘要

本发明公开了一种微流道压力传感器，该传感器包括被测流体旁支微流道（1）、微小电容信号测量系统（2）、液态微电极流道（3）；被测流体旁支微流道（1）的微流道检测段（4）的两侧对称布置液态微电极流道（3），所述液态微电极流道（3）有液态微电极入口（5）和液态微电极出口（6）。所述两个液态微电极流道（3）均与所述微小电容信号测量系统（2）连接。本发明在微流道检测段（4）的两侧形成微电极，通过测量电容得到被测流体旁支微流道（1）内的压力变化，提高了测量精确度，降低了对液体流动的干扰，同时制作简单、价格低廉。

主权项

一种微流道压力传感器，其特征在于，所述微流道压力传感器包括被测流体旁支微流道（1）、微小电容信号测量电路（2）、液态微电极流道（3）；其中所述被测流体旁支微流道（1）为流体流道（7）开出的旁支或为所述流体流道（7）；所述被测流体旁支微流道（1）有微流道检测段（4）；所述液态微电极流道（3）有液态微电极入口（5）和液态微电极出口（6）；所述微流道检测段（4）的两侧对称布置两个液态微电极流道（3）即第一液态微电极流道和第二液态微电极流道，所述微小电容信号测量电路(2)的一端连接所述第一液态微电极流道的液态微电极入口（5）和液态微电极出口（6），其另一端连接第二液态微电极流道的液态微电极入口（5）和液态微电极出口（6）。