有机EL显示面板及其制造方法

摘要

本发明提供通过喷墨方式形成均一膜厚的层，能够抑制发光斑块而期待优异的图像显示性能的有机EL显示面板及其制造方法。此外，提供能够防止喷墨头的墨液堵塞，以良好的生产效率制造有机EL显示面板的有机EL显示面板的制造方法。具体而言，在有机EL显示面板100中，在列(Y)方向相邻的开口部13之间的堤7的上表面形成凹陷部8。在发光层9形成时，基于喷墨方式，向开口部13以及凹陷部8滴下墨液。在开口部13和凹陷部8蒸发溶媒，实现沿着Y方向的有机材料中的溶媒蒸气浓度的均一化，使膜厚均一。另外，通过向凹陷部8排出墨液，防止喷墨头的喷嘴堵塞，实现生产效率的提高。

主权项

一种有机EL显示面板的制造方法，包括：准备基板的工序；在所述基板上形成TFT层的工序；在所述TFT层的上方形成平坦化膜的工序；接触孔形成工序，在所述平坦化膜形成接触孔，所述接触孔是在所述平坦化膜的上方形成的电极层和所述TFT层接触用的孔；堤和凹陷部形成工序，在所述平坦化膜的上方形成至少表面具有拨液性的堤，在覆盖所述接触孔的上方的所述堤的上表面追随所述接触孔的凹陷而形成凹陷部，使得在行列方向排列多个划分有机EL元件形成区域的开口部，其中，在沿列方向排列的所述多个开口部之间配置所述接触孔；以及发光层形成工序，使配置有多个喷嘴的喷墨头和所述基板相对移动，并且对一开口部从所述多个喷嘴中的预定数的喷嘴排出包含有机材料以及溶媒的液滴，使溶媒蒸发干燥而在所述一开口部内形成发光层，在堤和凹陷部形成工序中，使所述凹陷部的底面相比于所述电极层的上表面而形成在更靠下侧，在发光层形成工序中，从所述多个喷嘴中位于所述多个开口部之间的喷嘴向所述凹陷部排出所述液滴，由此从全部喷嘴排出液滴。