一种红外截止滤光片的镀膜方法

摘要

本发明公开了一种红外截止滤光片的镀膜方法，包括以下步骤：(1)切割基片，使基片成型；(2)镀前对基片进行超声波清洗；(3)红外截止滤光片的膜层的镀制：(4)检测环节；(5)切割；(6)镀后超声波清洗；(7)检测环节。本发明通过工艺改进，采用特定的超声波清洗器的参数设定和清洗液的配比，有效的提高了超声波清洗器的清洗效果，在膜层最外面加95nm厚度的超硬防水膜，通过采用上述工艺调整杜绝了镀膜过程中膜料形成的“表面粗糙难擦拭”和“容易有脏污和灰尘点”等异常现象。

主权项

一种红外截止滤光片的镀膜方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)切割基片，使基片成型；(2)镀前对基片进行超声波清洗；(3)红外截止滤光片的膜层的镀制：使用的膜料为五氧化三钛、二氧化硅和超硬防水膜料，其中，五氧化三钛膜料的预熔为采用十二个坩埚逐次预熔，镀膜方式采用电子束镀膜，镀制过程采用两种过程，首先是五氧化三钛、二氧化硅和超硬防水膜料的沉积过程，其次是等离子源的辅助轰击镀膜过程；(4)检测环节；(5)切割；(6)镀后超声波清洗；(7)检测环节；通过上述的过程制成成品滤光片。