一种对激光位移干涉仪提供实时波长修正之系统与装置

摘要

一种对激光位移干涉仪提供实时波长修正之系统与装置，其包括一绕射式光栅、一聚焦透镜及一激光光点位置传感器。绕射式光栅依据光学绕射原理针对特定波长的激光光适于产生一特定的绕射角，聚焦透镜及光位置传感器的组合依据自动视准仪原理适于感测出激光波长受到环境因素影响的实时变化值所产生的绕射角变化，以提供实际波长值的实时修正。此具自行实时波长修正之系统具有结构简单及低成本的优点，适于应用于任何激光位移干涉仪。其亦可使用激光二极管为光源以缩小整体激光位移干涉仪尺寸，适于做为短行程奈米定位平台的位移传感器。

主权项

一种具对激光位移干涉仪提供实时波长修正之系统与装置，包括： 一绕射式光栅，接受来自激光位移干涉仪分离出的光源 一聚焦透镜 一激光光点位置传感器 一支撑台。