加热接合装置及加热接合产品的制造方法

摘要

提供优异的加热接合装置及加热接合产品的制造方法，在真空中进行软钎焊等的加热接合时，不会使加热接合的目标物体的温度相对于适于加热接合的规定的目标温度大幅超出规定，能够以比以往的装置及方法更短时间使目标物体的温度成为规定的目标温度。加热接合装置具备：真空腔体，容纳加热接合的目标物体和缓冲器部；加热器，对与容纳于真空腔体内的目标物体接触而配置的缓冲器部加热；冷却器，对由加热器加热了的缓冲器部的热量排热；目标物体温度传感器，检测经由缓冲器部被加热了的目标物体的温度；及控制装置，基于检测到的目标物体的温度，以使目标物体的温度成为适于加热接合的规定的目标温度控制装置的方式，调节由冷却器进行的从缓冲器部的排热来进行控制。

主权项

一种加热接合装置，具备：真空腔体，容纳加热接合的目标物体和缓冲器部；加热器，对与容纳于所述真空腔体内的所述目标物体接触而配置的所述缓冲器部加热；冷却器，对由所述加热器加热了的缓冲器部的热量进行排热；目标物体温度传感器，检测经由所述缓冲器部而被加热了的目标物体的温度；以及控制装置，基于所述检测到的目标物体的温度，以使所述目标物体的温度成为适于所述加热接合的规定的目标温度的方式，通过调节由所述冷却器进行的从所述缓冲器部的排热而进行控制。