THERMAL ACID GENERATOR BOUND MONOMER AND POLYMER OBTAINED FROM THE THERMAL ACID GENERATOR BOUND MONOMER AND THERESIST UNDERLAYERCOMPOSITION INCLUDING THE POLYMER AND METHOD OF FORMING PATTERNS USING THE RESIST UNDERLAYERCOMPOSITION
摘要
<p>하기 화학식 1로 표현되는 열산발생제 결합 모노머, 상기 열산발생제 결합 모노머로부터 얻어진 중합체, 상기 중합체를 포함하는 레지스트 하층막용 조성물 및 상기 레지스트 하층막용 조성물을 사용한 패턴 형성 방법에 관한 것이다. [화학식 1]상기 화학식 1에서, A, L, R, R및 n은 명세서에서 정의한 바와 같다.</p>
