发明名称 分割装置
摘要 本发明提供分割装置,其抑制装置成本和装置的设置空间的增大,提高作业性。本发明的分割装置(1)是利用安装于主轴箱(61)的切削刀具(63)对保持构件(12)上的被加工物(W)进行切削加工的装置,并构成为具备:对保持构件上的被加工物进行摄像的摄像构件(66);使主轴箱相对于保持构件相对地移动的移动构件(13、14、15);和以能够按压保持构件上的被加工物的方式从主轴箱向下方突出的按压刃(67),根据由摄像构件拍摄到的被加工物的拍摄图像,利用移动构件移动按压刃。
申请公布号 CN104943003A 申请公布日期 2015.09.30
申请号 CN201510124566.X 申请日期 2015.03.20
申请人 株式会社迪思科 发明人 铃木稔;齐藤诚;井上高明
分类号 B28D5/02(2006.01)I;B28D5/04(2006.01)I;B28D7/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 主分类号 B28D5/02(2006.01)I
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人 李辉;黄纶伟
主权项 一种分割装置,其至少具备:保持构件,其具有保持被加工物的保持面;切削构件,其具有主轴和将该主轴支承成能够旋转的主轴箱,该主轴用于安装对保持于该保持构件的被加工物进行切削的切削刀具;摄像构件,其对保持于该保持构件的被加工物的正面进行摄像;X轴移动构件,其使该保持构件和该切削构件沿X轴方向相对地移动;Y轴移动构件,其使该保持构件和该切削构件沿与X轴方向垂直的Y轴方向相对地移动;以及Z轴移动构件,其使该保持构件和该切削构件沿竖直方向相对地移动,在该主轴箱的下端配设有按压刃,该按压刃沿该主轴的轴心方向延伸并且在该主轴箱的下端侧形成为以在利用该切削刀具对被加工物进行切削时不与被加工物接触的量突出,从沿着分割预定线预先形成的分割起点的上方侧沿着该分割起点对该按压刃进行定位并使该按压刃进行按压,从而以该分割起点为起点沿着该分割预定线分割该被加工物,该分割预定线是在保持于该保持构件上的被加工物的正面形成的。
地址 日本东京都