发明名称 绝缘层覆硅结构及其制备方法
摘要 本发明揭露一种绝缘层覆硅结构及其制备方法。绝缘层覆硅结构包含一底层,一绝缘层,一主动层与一阻隔层。绝缘层位于底层上,而主动层嵌于绝缘层中。阻隔层则位于绝缘层中并环绕主动层。
申请公布号 CN104952886A 申请公布日期 2015.09.30
申请号 CN201510325062.4 申请日期 2015.06.12
申请人 宁波时代全芯科技有限公司;英属维京群岛商时代全芯科技有限公司 发明人 吴孝哲
分类号 H01L27/12(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I 主分类号 H01L27/12(2006.01)I
代理机构 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人 徐金国
主权项 一种绝缘层覆硅结构,其特征在于,包含:一底层;一绝缘层位于该底层上;一主动层嵌于该绝缘层中;以及一阻隔层位于该绝缘层中并环绕该主动层。
地址 315195 浙江省宁波市鄞州工业园区(鄞州区姜山镇新张俞村)